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真空計工作原理、工作特性及使用熱偶真空計是利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體的熱傳導有關(guān)的原理來(lái)測量真空度的真空計。一、熱偶真空計工作原理熱電偶真空計的構造如圖1所示，氣體分子承擔的熱傳導量與壓強成正比是熱電偶真空計的工作原理。
熱電偶真空計的構造圖金屬圓筒內部設有一根燈絲，兩端連接電極，通電后燈絲會(huì )發(fā)熱。燈絲的熱量會(huì )通過(guò)氣體分子碰撞燈絲、熱輻射和固體熱傳導等方式被奪走。設單位時(shí)間內以上述三種方式奪走的熱量分別為Qg、Qr、Qs，則平衡狀態(tài)下以下公式成立：式中Q———單位時(shí)間燈絲放出的熱量；R———燈絲的電阻；I———燈絲的電流。
氣體的平均自由程比燈絲的直徑大很多時(shí)，Qg通過(guò)自由分子的熱傳導被表示為式中α———適當常數；Λ———分子的熱傳導率；d———燈絲直徑；a———燈絲長(cháng)度；T———燈絲溫度；T0———金屬圓筒的溫度；p———氣體壓強。Qs和Qr可以分別表示為式(4-8)代表電極的熱傳導，其中S是燈絲的斷面積，κ是固體的熱傳導率，L是電極的長(cháng)度。式(4-9)代表熱輻射，σ和ε分別是玻爾茲曼常數和固體輻射率。如果保持T和T0一定，則式(4-8)和式(4-9)為常數。
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電路主要由開(kāi)關(guān)電容電荷放大器和一階Σ-Δ調制器組成，利用0.25umCMOS技術(shù)制作成集成芯片，芯片有效面積約為2平方毫米，供電電壓2.5V，功耗約為6mW。電路的靈敏度可以達到2.5V/pF，分辨率可達到4aF。為滿(mǎn)足不同應用的需求，PérezSanjurjo等設計了一種適用于inficon電容式傳感器的電容-數字信號轉換電路。
可編程放大器提供了多個(gè)增益，使得電路可以根據信號的輸入強度及要求來(lái)選擇合適增益?？烧{方波時(shí)鐘發(fā)生器為傳感器提供激勵信號，同時(shí)為解調器提供時(shí)鐘信號，這種可調性可以抑制傳感器的結構變化以及封裝給電路的影響。另外，該電路中采用了片上電容陣列，可以抵消差動(dòng)結構電容的失配導致的不平衡。
差動(dòng)式可調諧微電容測量電路原理圖電路集成芯片采用0.13umCMOS技術(shù)制造，供電電壓為1.8V，能耗約為10mW。測試結果表明，電路能夠測量inficon電容式傳感器中的飛法級別的電容變化，靈敏度可達到0.3mV/fF，通過(guò)調節相關(guān)參數，靈敏度可達到1mV/fF。Awmini等設計了一種開(kāi)關(guān)電容電路來(lái)測量具有差動(dòng)敏感電容結構的inficon設備的微小電容變化。
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真空計的校準
現如今，真空在大家日常生活中被廣泛運用于大氣商品的生產(chǎn)制造及制造，而且起著(zhù)關(guān)鍵人物角色。例如：在科學(xué)研究，工業(yè)生產(chǎn)步驟，手機處理器，電腦硬盤(pán)，太陽(yáng)能充電電池，塑膠干躁或是食品類(lèi)真空包裝等行業(yè)。在如今的制造運動(dòng)中，大家對真空度測量的性、規范化、穩定性和重復的標準是極為重要的。在我們在開(kāi)展測量的情況下，高精密又是重要中的關(guān)鍵：
精密度的大小會(huì )立即影響到設備的制造品質(zhì)，科學(xué)試驗的性和設施運用的穩定性。要保證真空計應用時(shí)的可靠性高，就務(wù)必常常對它開(kāi)展校準或校準。而依據每一個(gè)不一樣運用的主要規定，這種校準工作中務(wù)必合乎中國或相應的國際性的規范。經(jīng)濟發(fā)展、合理、、化的組織校準及校準取代解決方法；生產(chǎn)制造運動(dòng)中，真空計通常必須對外開(kāi)放主管機關(guān)開(kāi)展校準和校準。
校準規定
在開(kāi)展校準前，務(wù)必達到如下所示標準：
■系統軟件限工作壓力ρE務(wù)必超出不大校準工作壓力ρmin的50倍
(ρE≤ρmin/50)
■工作溫度務(wù)必穩定(±1°C)
■校準系統軟件務(wù)必熱平穩
■規范真空計和別的真空計在檢測時(shí)真空度務(wù)必平穩
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